實驗室簡介
本實驗室成立時間悠久,在中央大學電機系中素有「洪門」之稱。在洪志旺教授的指導及多位同學的努力下,漸漸成長與茁壯。洪門主要是專注於IV族半導體材料的製程技術與元件應用的研究與開發。
在早期,洪門主要研究的方向為非晶質的IV族材料 (如:矽、鍺、碳等) 的相關應用為主。有發光二極體、光偵測器、薄膜電晶體等應用。近年來隨著科技的進步與演變,洪門更將研究觸角延伸至非揮發性記憶體、奈米晶粒元件、太陽能電池等領域。
中央大學電機系擁有兩間無塵室,設有多台製程機台,可供研究開發,如:PECVD、Furnace、RTA、Coater、Sputter、Bench、Aligner、OM、Photo CVD、Mask Maker、E-Gun Evaporator、RIE Etcher。再加上本校微光電實驗室中各種不同的製程機台。元件開發從無到有幾乎全部都可以在學校內完成,不用假借他人之手。
系上並有多台電性量測機台,可提供各種電特性分析,如:I-V特性、C-V特性、頻率響應、光電特性等多種電特性的量測與分析。至於材料分析方面,本校光電科學研究中心、奈米科技研究中心、理學院薄膜技術研究中心及工學院精密儀器中心等中心擁有多台材料分析儀器,如:SEM、TEM、SPM、XRD、Ellipsometer等,可提供各種不同的材料分析與量測。
洪門誠摯歡迎對以下領域有興趣的同學,加入本實驗室: a. 非晶體IV族半導體材料及元件 b. 先進非揮發性記憶體元件 c. 奈米晶粒結構及元件 d. 高效率之IV族太陽能電池應用 e. 高亮度或交流用矽基發光二極體 f. 矽基光偵測器或薄膜電晶體
可按此,查詢本實驗室歷年來的國科會計畫。
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